使用聚二甲基矽氧烷材質製作. 微流道晶片裡的壓力感測器 ... 是使用聚二甲基矽氧烷. (PDMS)製作具有壓力感測器功能的微流 ... PDMS翻模. 4. mV 30. 5. 3.氧電漿黏合.
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