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Chapter 7 電漿的基礎原理

Chapter 7. 電漿的基礎原理 ... 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ... 電漿是具有等量正電荷和負電荷的離子氣體.

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