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電漿清洗(Plasma Cleaning) - 文章資訊 - 原晶半導體設備

在電漿中產生的紫外線光能有效破壞表面汙染物的有機鍵結，這有助於分解油脂(oil)與油膏(grease)，接著由電漿中產生的高能氧物質進行清洗。 這些物質與有機 ...

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