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微波氫氣電漿在材料處理之應用 - 材料世界網

例如微電子工業採用電漿蝕刻製作次微米結構元件、半導體大型積體電路製程中的電路蝕刻、基板清潔、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ...

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