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CN1518404A - 电浆蚀刻方法

电浆 蚀刻技术应用在上述微孔制程的时候，用以形成电浆的气体通常是氧气(O 2)、或含有氧的气体，利用氧在上述低压高电场强度的环境所解离出的氧自由基根子与基板的树脂反应 ...

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