你即將離開本站

並前往https://wenku.baidu.com/view/371b6d0233687e21af45a99f.html

电浆原理与电浆清洗机简介I - 百度文库

3)電漿能量將氧轉變成正離子 4)中性氧原子及正氧離子與光阻中之碳及氫反應 基板 光阻陽極. RF產生器. Eazy cleaner 設備設計示意圖. For wafer clean

確定！ 回上一頁

查詢 「氧電漿原理」的人也找了：

  1. 氧電漿表面改質原理
    2.
  2. o2 plasma原理
    3.
  3. plasma表面處理原理
    4.
  4. 氧電漿pdms
    5.
  5. 氧電漿清洗機原理
    6.
  6. 氧電漿機
    7.
  7. 氧電漿蝕刻
    8.
  8. 電漿態
    9.