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超高真空系統測漏標準作業程序

小以及氣體分子濃度有關。例如，玻璃及石英在性質上較金屬材料容易被滲透，又氫氣或氦氣. 因分子較小，所以比氧氣或氮氣容易滲透。 5. 測漏時機：壓力未達幫浦所被預期 ...

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