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Brerwista Bonavita VST SYNFO - 準分子雷射氣體 - 銓宸雷射方案

準分子雷射氣體的選擇, 依不同雷射的波長雷射腔內會注入不同的氣體. 308nm: HCL + XE. 248nm: KrF. 193nm: ArF. 此外, 腔體內的清潔純化, 則以He氦氣或Ne氖氣為輔助 ...

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