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專家揭祕:F2/Kr/Ne用氦氣來做吹掃保壓,爲什麼不用氮氣?

HE的分子量比較小只有4，更容易從漏點出來，而氮氣分子量28，分子大小就差很多。 專家2答覆：. ○殘餘的氮氣會影響雷射 ...

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