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安全資料表 - Entegris

四氟矽烷. 化學族: 無機物, 氟化物. 產品描述: 這種氣體可以被封裝在SDS®，SAGE®或PDS®氣源包。 ... 致癌性: 成分致癌性. SILICON TETRAFLUORIDE / 四氟化矽7783-61-1.

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