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俄烏戰爭氖氣面臨斷供?台積電:已建立風險系統確保貨源多樣化
氖氣 是光刻製程所需的關鍵化學品,有助於產生雷射光源,主要應用於先進製程極紫外光(EUV)及成熟製程如氟化氬(ArF)深紫外(DUV)波長光刻曝光環節 ...
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