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氖氣在晶片生產中的應用 - 資訊咖

回來說DUV光刻機為什麼必須用氖氣，而且用量還那麼大。DUV光刻機，也叫深紫外光刻機，使用準分子雷射作為光源。現在常用的光源有248nm的KrF準 ...

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