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氖氣製程
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俄乌冲突波及半导体产业链:ASML需要的氖气价格出现上涨
这些稀有气体可分别应用于ArF、KrF光刻机中准分子激光光源的生产和半导体刻蚀中,主要用于8英寸晶圆250~130nm成熟制程的DUV(深紫外线)工艺技术,基于 ...
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