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氖氣製程
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https://www.businesswire.com/news/home/20150709006362/zh-HK/
Gigaphoton宣布「氖氣救援計畫」 針對氖氣的供給危機
目前應用於半導體製程中的ArF 和KrF雷射的緩衝氣體為氖氣,目前烏克蘭為氖氣的主要生產國,但由於國內危機持續不斷,近年來氖氣供應減少已成為一個 ...
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