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这种半导体需要的稀有气体，70%来自乌克兰 - 澎湃新闻

在半导体制程当中，氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光，在ArF 准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氪气同样用于光刻制程，氙气用于半导体刻蚀制程。

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