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氖氣製程
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俄烏戰影響氖氣供應看懂半導體產業為何高度重視| 產經 - 中央社
氖是製造晶片使用的氣體雷射關鍵原料,應用在晶圓製造微影製程所需設備。 · 工業等級的氖氣由化學大廠純化,達到半導體等級後,再交給設備廠商使用。 · 美國 ...
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