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晶圆厂稼动率降特殊气体氖、氙、氪气价格修正-icspec

氙气、氪气沸点都高于氧气，因此处理需要经过更复杂高温、超低温的萃取过程，氪气是半导体制程重要气体，可用于化学气相沉积(CVD) 制程，而氙气则是半导体 ...

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