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氖氣製程
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乌克兰和俄罗斯打起来了,半导体人担心的却是氖气
其中,氖气和氪气都可用于KrF镭射,该工艺主要用于8吋晶圆250~130nm成熟制程。 目前,250~130nm制程产品包括电源管理芯片(PMIC)、微机电 ...
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