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美国使用半导体级氖气超90%来自乌克兰，中国相关技术已成熟

激发出来的光线经过聚合，滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中，氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中 ...

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