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EVG 全新微米及奈米壓印解決方案亮相，強化晶圓級光學元件 ...

同時，該系統還提供三種不同的製程模式，包含透鏡壓鑄、透鏡堆疊與SmartNIL 奈米壓印，並支援150 毫米到300 毫米晶圓的基板尺寸；且模板與晶圓的快速裝載 ...

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  3. 一微米等於幾奈米
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  7. 一奈米等於幾毫米
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