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光學微影的限制

微影品質可分成四大類：光阻分佈控制、疊層、下游相容性以及量產可行性。 ... 參數來描繪的空間，例如：導角、線條尾端縮減、空間傳真度、邊緣粗糙度或關鍵形狀差異。

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