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黃光微影 - 應用物理學系

光阻 可分為正、負光阻，和曝光部分是否會溶於特殊溶液有關。對正光阻而言，曝光的部分產生光化學反應，使曝光部分與沒曝光部分於顯影液中的溶解度不同，而使曝光部分被 ...

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