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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

高性能彩色光阻. 防止翹曲 ... 晶圓上，經由光罩上透光與不透光的差別，可在光阻塗層上定義出 ... 光阻. 主要可分為正光阻及負光阻二. 種。正光阻就是被光照射的部份.

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