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正負光阻差異
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半導體製程(二) | 晶圓加工| 蔥寶說說讓台積電叱吒風雲的功夫
光阻 是會因為被光(紫外線)照到而發生化學變化的物質,可分為正光阻和負光阻。此步驟會把光阻塗在晶圓上。本蔥怕各位看官搞混,就只用正光阻作為講解範例。
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