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负光阻留下的光阻 - 百度文库

光阻 可分為負光阻和正光阻兩種，但由於解析度的關係，目前以正光阻為主流。 ◇ 負光阻是曝光的部位經聚合硬化後，將未曝光的部位溶解，得到曝光部位的顯像。 ◇ 正光阻 ...

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