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顯影液 - 日益和股份有限公司

以DNQ-Novalak型光阻為例，在曝光過程中，感光劑DNQ，會進行光化學反應，形成所謂的光酸,Photo-acid。 正型光阻下，顯影就是將曝光區域除去；而負型光阻則是去除 ...

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