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電子材料 - 第 28 頁 - Google 圖書結果

因為以往負光阻顯影後會略膨脹,解析度較差,目前 ULSI 次微米製程均用正光阻。近來有些光阻製造廠宣稱已可做到顯影後不膨脹的負光阻。光阻負光阻 100 100 柯達( Kodak ) ...

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