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微奈米製程與科技之應用

正光阻 ：不溶於顯影液解析度較佳. 負光阻：易溶於顯影液. 25. 接觸式曝光機. ○ 曝光. ○ 將光罩覆蓋在塗有光阻的晶. 圓片上(或保持定距離).

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