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正光阻與負光阻 - Scupk

光阻 薄膜越薄，解析度越高. 對抗蝕刻、離子佈質的遮蔽和無針孔則需要較厚的光阻薄膜正光阻因為聚合體的尺寸較小，所以有較好的解析力. 參數負光阻正光阻.

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