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四技部工讀實務實習成果海報

光阻 塗佈◇ 對準曝光◇ 光阻顯影 ... 將被塗在基板表面，此時基板表面就會被一層光阻薄膜. 層覆蓋；而光阻又可區分為正光阻與負光阻，如圖2 所. 示。 圖2 正負不同光阻 ...

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