負光阻 在顯影時,顯影液會進入鏈結的分子內,使光阻的體積增加(swelling),使得 ... 半導體材料~ 微影用材料 · PDF 檔案(a)正光阻,和(b)負光阻成像的比較2 光阻覆蓋 ...
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