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低成本有機光阻剝除劑於半導體封裝製程應用

無法直接比較剝除光阻效能，故塗佈厚膜正光阻於矽晶圓，發現本配方清洗效能 ... 製程所需圖形解析度極高，負光阻解析度劣於正光阻，顯影溶劑為二甲苯，對於環.

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