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正光阻負光阻– 正型光阻與負型光阻 - Probeball

因此，正光阻在曝光後會被顯影液移除，而負光阻在曝光後不會被顯影液移除。 由於正光阻使用的顯影液與光阻去除液比較不具毒性，並且易於處理，因此，半導體工業絕大 ...

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