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负光阻留下的光阻 - 百度文库

也就是說，可利用曝光部分和未曝光部分產生溶解度的差異，進行圖案的顯像。 ... 正光阻則是含有感光性材料和酚類樹脂的有機溶劑，為不溶性鹼。但經過光的照射，則成為可溶性 ...

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