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正光阻負光阻差異
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提升太陽能電池模組封裝效率之研究Solar Modules Efficiency ...
移到光阻上,由於本研究是使用正光阻,所以曝光後圖形也和光罩. 上一致,負光阻則反。 光阻厚度越厚所需吸收之曝光劑量越大,如此一來,才能順利.
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