負光阻 及正光阻. 基片. 光阻. 4. 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子... 正光阻. • 酚醛(Novolac)樹脂. • 醋酸型溶劑. • 感光劑在樹脂中進行交連.
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