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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 利用蝕刻技術 ...

本實驗SU-8 為一環氧基型負光阻，經由一般標準的UV 微影技術便可成型，因為SU-8 在. 波長365nm 之紫外光線下便可進行所需要的製程。SU-8 主要是由三種成分來構成，分別.

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