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第一章 前言

光阻劑的有四種基本成分：聚合物、感光劑、溶劑、添加劑。聚. 合物(polymer)是附著在晶圓表面 ... 鍊狀和環狀結構的碳氫分子，正光阻常用酚甲醛(phenol-formaldehyde).

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