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負光阻undercut

負光阻元件基座多層顯影VLSI 概論圖1.3 底材HMDS作用，(a)去水，(b)提升晶圓與阻劑間附著力6. ... 光阻化學式,列出組成光阻(photoresist)的四個成分. •敘述正光阻(+PR) ...

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