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微影- 德研究所資料/田口/田口示範/半導體...

負光阻光阻遇光後光阻結構加強不溶於顯影劑. 好的光阻特性良好的附著性抗蝕刻性解析度. 9. 正光阻. 光阻厚度薄→解析度好. PAC（光活性化合物）：正光阻液的感光成分。

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