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正光阻成分
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顯影液 | 健康跟著走
解析度比負型光阻佳,故大部分的半導體製程工廠使用正型光阻劑,成分為酚醛樹脂( ... ,光罩/倍縮光罩. 曝光. 經顯影. 負光阻. 紫外光. 正光阻. 基片. 基片. 基片.
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