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(12) 发明专利

如权利要求1所述的光阻清洗剂,其中该光阻清洗剂可用于清洗正光阻及负光阻。 ... PGMEA 的混合成分外,尚有如单独成分的醋酸正丁酯(nBac, n-Butyl Acetate)､乙酸异戊.

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