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低成本有機光阻剝除劑於半導體封裝製程應用

實驗除了光阻剝除液對矽晶圓氧化與金屬結構腐蝕的部分外，最重要的則是測試剝除液剝除光阻的效能。首先塗佈厚膜正光阻於蝕刻玻璃，使用本配方後無光阻殘留， ...

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