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低成本有機光阻剝除劑於半導體封裝製程應用

與業界配方的成分進行質譜儀與紫外光光譜儀分析，並對兩種配方使用前後的吸 ... 無法直接比較剝除光阻效能，故塗佈厚膜正光阻於矽晶圓，發現本配方清洗效能.

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