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正光阻成分
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四技部工讀實務實習成果海報
光阻塗佈◇ 對準曝光◇ 光阻顯影 ... 層覆蓋;而光阻又可區分為正光阻與負光阻,如圖2 所 ... 使用正光阻,穿過明. 區域的紫外光會使曝光的光阻之化學成分因光化學反.
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