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微影

負光阻. ➢光阻遇光後光阻結構加強不溶於顯影劑. ◇好的光阻特性. ➢良好的附著性 ... 光阻厚度薄→解析度好. PAC（光活性化合. 物）：正光阻液的感. 光成分。

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