光阻主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。 光阻种类: 光阻分为正光阻及负光阻两种。 1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解 ...
確定! 回上一頁