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CN1987663B - 光阻清洗剂

[0004] 美国专利4，983，490号揭露一种光阻清洗剂，组成成分包括1_10份重量丙二醇单甲基 ... [0018] 根据上述构想，其中该光阻清洗剂可用于清洗正光阻及负光阻。

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