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白光消色差干涉儀之動靜態三維表面輪廓量測 - 碩博士論文網

旋轉偏極波片組的相移機構是應用不同偏極態之間的相位變化來製造相位移動，而市售的Mirau物鏡並無此功能。所以本實驗選擇Linnik干涉法來取代Mirau物鏡的干涉功能， ...

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