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机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法与流程 - X技术

本发明的主要目的在于提供一种机械手臂装置及机械手臂装置的控制方法，用以改善现有技术中，机械手臂在取放晶圆载具时，常会因机械手臂未正确地夹持晶 ...

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